Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 12: A method for fatigue testing thin film materials using the resonant vibration of a MEMS structure.
NORMA vydaná dňa 1.5.2010
Označenie normy: E DIN IEC 62047-12:2010-05
Poznámka: NEPLATNÁ
Dátum vydania normy: 1.5.2010
Počet strán: 46
Približná hmotnosť: 138 g (0.30 libier)
Krajina: Nemecká technická norma
Kategória: Technické normy DIN
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 12: Verfahren zur Prüfung der Ermüdungsfestigkeit von Dünnschichtwerkstoffen unter Verwendung der Resonanzschwingungen bei MEMS-Strukturen.