E DIN IEC 62047-11:2010-06

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 11: Test method for linear thermal expansion coefficients of MEMS materials.

NORMA vydaná dňa 1.6.2010

Anglicky a nemecky -
Elektronické PDF (91.00 EUR)

Anglicky a nemecky -

Tlačené (116.80 EUR)

The information about the standard:

Designation standards: E DIN IEC 62047-11:2010-06
Note: NEPLATNÁ
Publication date standards: 1.6.2010
The number of pages: 24
Approximate weight : 72 g (0.16 lbs)
Country: German technical standard
Kategória: Technické normy DIN

Annotation of standard text E DIN IEC 62047-11:2010-06 :

Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 11: Prüfverfahren für lineare thermische Ausdehnungskoeffizienten für Werkstoffe der Mikrosystemtechnik.