Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 10: Micropillar compression test for MEMS materials.
NORMA vydaná dňa 1.5.2010
Označenie normy: E DIN IEC 62047-10:2010-05
Poznámka: NEPLATNÁ
Dátum vydania normy: 1.5.2010
Počet strán: 18
Približná hmotnosť: 54 g (0.12 libier)
Krajina: Nemecká technická norma
Kategória: Technické normy DIN
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 10: Druckprüfverfahren an zylinderförmigen Mikroproben für Werkstoffe der Mikrosystemtechnik.