Semiconductor devices - Part 1: Microelectromechanical devices; Terms and definitions.
NORMA vydaná dňa 1.10.2003
Označenie normy: E DIN IEC 62047-1:2003-10
Poznámka: NEPLATNÁ
Dátum vydania normy: 1.10.2003
Počet strán: 37
Približná hmotnosť: 111 g (0.24 libier)
Krajina: Nemecká technická norma
Kategória: Technické normy DIN
Halbleiterbauelemente - Teil 1: Bauteile der Mikrosystemtechnik; Begriffe und Definitionen.