Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 1: Terms and definitions.
NORMA vydaná dňa 1.5.2014
Označenie normy: E DIN EN 62047-1:2014-05
Poznámka: NEPLATNÁ
Dátum vydania normy: 1.5.2014
Počet strán: 59
Približná hmotnosť: 177 g (0.39 libier)
Krajina: Nemecká technická norma
Kategória: Technické normy DIN
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 1: Begriffe.