Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 30: Measurement methods of electro-mechanical conversion characteristics of MEMS piezoelectric thin film.
NORMA vydaná dňa 1.8.2016
Označenie normy: E DIN EN 62047-30:2016-08
Poznámka: NEPLATNÁ
Dátum vydania normy: 1.8.2016
Počet strán: 34
Približná hmotnosť: 102 g (0.22 libier)
Krajina: Nemecká technická norma
Kategória: Technické normy DIN
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 30: Messverfahren für Kenngrößen der elektromechanischen Energiewandlung bei piezoelektrischen MEMS-Dünnschichten.