
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 26: Description and measurement methods for micro trench and needle structures.
NORMA vydaná dňa 1.5.2014
    
        Označenie normy: E DIN EN 62047-26:2014-05
                
                
                
                Poznámka:    NEPLATNÁ
               
                Dátum vydania normy:  1.5.2014
        Počet strán: 53
Približná hmotnosť: 159 g (0.35 libier)
        Krajina:          Nemecká technická norma
        Kategória: Technické normy DIN
        
                
              
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 26: Beschreibung und Messverfahren für Mikro-Rillen und Nadelstrukturen.