Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 26: Description and measurement methods for micro trench and needle structures.
NORMA vydaná dňa 1.5.2014
Označenie normy: E DIN EN 62047-26:2014-05
Poznámka: NEPLATNÁ
Dátum vydania normy: 1.5.2014
Počet strán: 53
Približná hmotnosť: 159 g (0.35 libier)
Krajina: Nemecká technická norma
Kategória: Technické normy DIN
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 26: Beschreibung und Messverfahren für Mikro-Rillen und Nadelstrukturen.