E DIN EN 62047-21:2012-11

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 21: Test method for Poisson´s ratio of thin film MEMS materials.

NORMA vydaná dňa 1.11.2012

Anglicky a nemecky -
Elektronické PDF (75.00 EUR)

Anglicky a nemecky -

Tlačené (93.10 EUR)

Informácie o norme:

Označenie normy: E DIN EN 62047-21:2012-11
Poznámka: NEPLATNÁ
Dátum vydania normy: 1.11.2012
Počet strán: 24
Približná hmotnosť: 72 g (0.16 libier)
Krajina: Nemecká technická norma
Kategória: Technické normy DIN

Anotácia textu normy E DIN EN 62047-21:2012-11 :

Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 21: Prüfverfahren zur Querkontraktionszahl von Dünnschichtwerkstoffen der Mikrosytsemtechnik.