Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 18: Bending test methods of thin film materials.
NORMA vydaná dňa 1.6.2011
Označenie normy: E DIN EN 62047-18:2011-06
Poznámka: NEPLATNÁ
Dátum vydania normy: 1.6.2011
Počet strán: 20
Približná hmotnosť: 60 g (0.13 libier)
Krajina: Nemecká technická norma
Kategória: Technické normy DIN
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 18: Biegeprüfverfahren für Dünnschichtwerkstoffe.