NORMSERVIS s.r.o.

E DIN EN 62047-17:2011-06

Semiconductor devices - Micro- electromechanical devices - Part 17: Bulge test method for measuring mechanical properties of thin film.

NORMA vydaná dňa 1.6.2011

Anglicky a nemecky -
Elektronické PDF (108.10 EUR)

Anglicky a nemecky -
Tlačené (134.60 EUR)

Informácie o norme:

Označenie normy: E DIN EN 62047-17:2011-06
Poznámka: NEPLATNÁ
Dátum vydania normy: 1.6.2011
Počet strán: 45
Približná hmotnosť: 135 g (0.30 libier)
Krajina: Nemecká technická norma
Kategória: Technické normy DIN

Anotácia textu normy E DIN EN 62047-17:2011-06 :

Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 17: Wölbungs-Prüfverfahren zur Bestimmung mechanischer Eigenschaften dünner Schichten.