Semiconductor devices - Micro- electromechanical devices - Part 17: Bulge test method for measuring mechanical properties of thin film.
NORMA vydaná dňa 1.6.2011
Označenie normy: E DIN EN 62047-17:2011-06
Poznámka: NEPLATNÁ
Dátum vydania normy: 1.6.2011
Počet strán: 45
Približná hmotnosť: 135 g (0.30 libier)
Krajina: Nemecká technická norma
Kategória: Technické normy DIN
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 17: Wölbungs-Prüfverfahren zur Bestimmung mechanischer Eigenschaften dünner Schichten.