Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 14: Forming limit measuring method of metallic film materials.
NORMA vydaná dňa 1.10.2010
Designation standards: E DIN EN 62047-14:2010-10
Note: NEPLATNÁ
Publication date standards: 1.10.2010
The number of pages: 29
Approximate weight : 87 g (0.19 lbs)
Country: German technical standard
Kategória: Technické normy DIN
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 14: Verfahren zur Ermittlung der Grenzformänderung metallischer Dünnschichtwerkstoffe.