Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 6: Axial fatigue testing methods of thin film materials.
NORMA vydaná dňa 1.7.2010
Označenie normy: DIN EN 62047-6:2010-07
Dátum vydania normy: 1.7.2010
Počet strán: 17
Približná hmotnosť: 51 g (0.11 libier)
Krajina: Nemecká technická norma
Kategória: Technické normy DIN
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 6: Prüfverfahren zur uniaxialen Dauerschwingfestigkeit von Dünnschicht-Werkstoffen.