DIN EN 62047-25:2017-04

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 25: Silicon based MEMS fabrication technology - Measurement method of pull-press and shearing strength of micro bonding area.

NORMA vydaná dňa 1.4.2017

Nemecky -
PDF - okamžité stiahnutie (99.40 EUR)

Nemecky -

Tlačené (120.10 EUR)

Nemecky -

CD-ROM (100.90 EUR)

Informácie o norme:

Označenie normy: DIN EN 62047-25:2017-04
Dátum vydania normy: 1.4.2017
Počet strán: 23
Približná hmotnosť: 69 g (0.15 libier)
Krajina: Nemecká technická norma
Kategória: Technické normy DIN

Anotácia textu normy DIN EN 62047-25:2017-04 :

Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 25: Siliziumbasierte MEMS-Herstellungstechnologie - Messverfahren zur Zug-Druck- und Scherfestigkeit gebondeter Flächen im Mikrometerbereich.