Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 5: RF MEMS switches.
NORMA vydaná dňa 1.3.2012
Označenie normy: DIN EN 62047-5:2012-03
Dátum vydania normy: 1.3.2012
Počet strán: 37
Približná hmotnosť: 111 g (0.24 libier)
Krajina: Nemecká technická norma
Kategória: Technické normy DIN
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 5: Hochfrequenz-MEMS-Schalter.