DIN EN 62047-4:2011-03

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 4: Generic specification for MEMS.

NORMA vydaná dňa 1.3.2011

Nemecky -
PDF - okamžité stiahnutie (102.30 EUR)

Informácie o norme:

Označenie normy: DIN EN 62047-4:2011-03
Dátum vydania normy: 1.3.2011
Počet strán: 22
Približná hmotnosť: 66 g (0.15 libier)
Krajina: Nemecká technická norma
Kategória: Technické normy DIN

Anotácia textu normy DIN EN 62047-4:2011-03 :

Halbleiterbauelemente - Bauteile der Mikrosystemtechnik - Teil 4: Fachgrundspezifikation für Mikrosystemtechnik.