DIN EN 62047-3:2007-02

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 3: Thin film standard test piece for tensile-testing.

NORMA vydaná dňa 1.2.2007

Nemecky -
PDF - okamžité stiahnutie (54.50 EUR)

Informácie o norme:

Označenie normy: DIN EN 62047-3:2007-02
Dátum vydania normy: 1.2.2007
Počet strán: 9
Približná hmotnosť: 27 g (0.06 libier)
Krajina: Nemecká technická norma
Kategória: Technické normy DIN

Anotácia textu normy DIN EN 62047-3:2007-02 :

Halbleiterbauelemente - Bauteile der Mikrosystemtechnik - Teil 3: Dünnschicht-Standardmikroprobe für die Prüfung der Zugbeanspruchung.