DIN EN 62047-26:2016-12

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 26: Description and measurement methods for micro trench and needle structures.

NORMA vydaná dňa 1.12.2016

Nemecky -
PDF - okamžité stiahnutie (113.30 EUR)

Nemecky -

Tlačené (141.30 EUR)

Informácie o norme:

Označenie normy: DIN EN 62047-26:2016-12
Dátum vydania normy: 1.12.2016
Počet strán: 29
Približná hmotnosť: 87 g (0.19 libier)
Krajina: Nemecká technická norma
Kategória: Technické normy DIN

Anotácia textu normy DIN EN 62047-26:2016-12 :

Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 26: Beschreibung und Messverfahren für Mikro-Rillen und Nadelstrukturen.