DIN EN 62047-2:2007-02

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 2: Tensile testing method of thin film materials.

NORMA vydaná dňa 1.2.2007

Nemecky -
PDF - okamžité stiahnutie (61.40 EUR)

Informácie o norme:

Označenie normy: DIN EN 62047-2:2007-02
Dátum vydania normy: 1.2.2007
Počet strán: 14
Približná hmotnosť: 42 g (0.09 libier)
Krajina: Nemecká technická norma
Kategória: Technické normy DIN

Anotácia textu normy DIN EN 62047-2:2007-02 :

Halbleiterbauelemente - Bauteile der Mikrosystemtechnik - Teil 2: Prüfverfahren zur Zugbeanspruchung bei Dünnschicht-Werkstoffen.