DIN EN 62047-17:2015-12

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 17: Bulge test method for measuring mechanical properties of thin films.

NORMA vydaná dňa 1.12.2015

Nemecky -
PDF - okamžité stiahnutie (108.10 EUR)

Nemecky -

Tlačené (134.60 EUR)

Informácie o norme:

Označenie normy: DIN EN 62047-17:2015-12
Dátum vydania normy: 1.12.2015
Počet strán: 28
Približná hmotnosť: 84 g (0.19 libier)
Krajina: Nemecká technická norma
Kategória: Technické normy DIN

Anotácia textu normy DIN EN 62047-17:2015-12 :

Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 17: Wölbungs-Prüfverfahren zur Bestimmung mechanischer Eigenschaften dünner Schichten.