
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 14: Forming limit measuring method of metallic film materials.
NORMA vydaná dňa 1.10.2012
Označenie normy: DIN EN 62047-14:2012-10
Dátum vydania normy: 1.10.2012
Počet strán: 20
Približná hmotnosť: 60 g (0.13 libier)
Krajina: Nemecká technická norma
Kategória: Technické normy DIN
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 14: Verfahren zur Ermittlung der Grenzformänderung metallischer Dünnschichtwerkstoffe.