DIN EN 62047-11:2014-04

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 11: Test method for coefficients of linear thermal expansion of free-standing materials for micro-electromechanical systems.

NORMA vydaná dňa 1.4.2014

Nemecky -
PDF - okamžité stiahnutie (102.30 EUR)

Nemecky -

Tlačené (127.30 EUR)

Informácie o norme:

Označenie normy: DIN EN 62047-11:2014-04
Dátum vydania normy: 1.4.2014
Počet strán: 21
Približná hmotnosť: 63 g (0.14 libier)
Krajina: Nemecká technická norma
Kategória: Technické normy DIN

Anotácia textu normy DIN EN 62047-11:2014-04 :

Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 11: Prüfverfahren für lineare thermische Ausdehnungskoeffizienten für freistehende Werkstoffe der Mikrosystemtechnik.