DIN EN 62047-10:2012-03

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 10: Micro-pillar compression test for MEMS materials.

NORMA vydaná dňa 1.3.2012

Nemecky -
PDF - okamžité stiahnutie (82.20 EUR)

Informácie o norme:

Označenie normy: DIN EN 62047-10:2012-03
Dátum vydania normy: 1.3.2012
Počet strán: 13
Približná hmotnosť: 39 g (0.09 libier)
Krajina: Nemecká technická norma
Kategória: Technické normy DIN

Anotácia textu normy DIN EN 62047-10:2012-03 :

Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 10: Druckprüfverfahren an zylinderförmigen Mikroproben für Werkstoffe der Mikrosystemtechnik.