Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 1: Terms and definitions.
NORMA vydaná dňa 1.12.2016
Označenie normy: DIN EN 62047-1:2016-12
Dátum vydania normy: 1.12.2016
Počet strán: 37
Približná hmotnosť: 111 g (0.24 libier)
Krajina: Nemecká technická norma
Kategória: Technické normy DIN
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 1: Begriffe.