DIN 50450-9:2003-04

Testing of materials for semiconductor technology - Determination of impurities in carrier gases and dopant gases - Part 9: Determination of oxygen, nitrogen, carbonmonoxide, carbondioxide, hydrogen and C1-C3-hydrocarbons in gaseous hydrogen chloride by gaschromatography.

NORMA vydaná dňa 1.4.2003

Nemecky -
PDF - okamžité stiahnutie (32.30 EUR)

Nemecky -

Tlačené (39.30 EUR)

Nemecky -

CD-ROM (33.80 EUR)

Informácie o norme:

Označenie normy: DIN 50450-9:2003-04
Poznámka: NEPLATNÁ
Dátum vydania normy: 1.4.2003
Počet strán: 5
Približná hmotnosť: 15 g (0.03 libier)
Krajina: Nemecká technická norma
Kategória: Technické normy DIN

Anotácia textu normy DIN 50450-9:2003-04 :

Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung von Verunreinigungen in Träger - und Dotiergasen - Teil 9: Bestimmung von Sauerstoff, Stickstoff, Kohlenstoffmonooxid, Kohlenstoffdioxid, Wasserstoff und C1-C3-Kohlenwasserstoffen in Chlorwasserstoff mit Gaschromatographie.