DIN 32566:2007-12

Production equipment for microsystems - Specification for an X-Ray Lithography Mask Support Ring.

NORMA vydaná dňa 1.12.2007

Nemecky -
PDF - okamžité stiahnutie (52.90 EUR)

Nemecky -

Tlačené (63.80 EUR)

Nemecky -

CD-ROM (54.40 EUR)

Informácie o norme:

Označenie normy: DIN 32566:2007-12
Dátum vydania normy: 1.12.2007
Počet strán: 9
Približná hmotnosť: 27 g (0.06 libier)
Krajina: Nemecká technická norma
Kategória: Technické normy DIN

Anotácia textu normy DIN 32566:2007-12 :

Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Spezifikation eines Maskentragrings für die Röntgentiefenlithographie.