Testing of materials for semiconductor technology - Determination of trace elements in liquids - Part 5: Guideline for the selection of materials and testing of their suitability for apparatus for sampling and sample preparation for the determination of trace elements in the range of micrograms per kilogram and nanograms per kilogram.
NORMA vydaná dňa 1.3.2010
Designation standards: DIN 50451-5:2010-03
Note: NEPLATNÁ
Publication date standards: 1.3.2010
The number of pages: 11
Approximate weight : 33 g (0.07 lbs)
Country: German technical standard
Kategória: Technické normy DIN
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung von Elementspuren in Flüssigkeiten - Teil 5: Leitlinie zur Auswahl von Werkstoffen und Prüfung ihrer Eignung für Geräte zur Probenahme und Probenvorbereitung für die Elementspuren-Bestimmung im Bereich von Mikrogramm je Kilogramm und Nanogramm je Kilogramm.