
Testing of materials for semiconductor technology - Determination of trace elements in liquids - Part 4: Determination of 34 elements in ultra pure water by mass spectrometry with inductively coupled plasma (ICP-MS).
NORMA vydaná dňa 1.9.2024
Designation standards: DIN 50451-4:2024-09
Publication date standards: 1.9.2024
The number of pages: 15
Approximate weight : 45 g (0.10 lbs)
Country: German technical standard
Kategória: Technické normy DIN
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung von Elementspuren in Flüssigkeiten - Teil 4: Bestimmung von 34 Elementen in hochreinem Wasser durch Massenspektrometrie mit induktiv gekoppeltem Plasma (ICP-MS).