Testing of materials for semiconductor technology - Determination of trace elements in liquids - Part 4: Determination of 34 elements in ultra pure water by mass spectrometry with inductively coupled plasma (ICP-MS).
NORMA vydaná dňa 1.2.2007
Označenie normy: DIN 50451-4:2007-02
Poznámka: NEPLATNÁ
Dátum vydania normy: 1.2.2007
Počet strán: 13
Približná hmotnosť: 39 g (0.09 libier)
Krajina: Nemecká technická norma
Kategória: Technické normy DIN
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung von Elementspuren in Flüssigkeiten - Teil 4: Bestimmung von 34 Elementen in hochreinem Wasser durch Massenspektrometrie mit induktiv gekoppeltem Plasma (ICP-MS).