Testing of materials for semiconductor technology; determination of impurities in carrier gases and dopant gases; determination of C1-C3-hydrocarbons in nitrogen by gas-chromatography.
NORMA vydaná dňa 1.9.1993
Označenie normy: DIN 50450-4:1993-09
Poznámka: NEPLATNÁ
Dátum vydania normy: 1.9.1993
Počet strán: 2
Približná hmotnosť: 6 g (0.01 libier)
Krajina: Nemecká technická norma
Kategória: Technické normy DIN
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie; Bestimmung von Verunreinigungen in Träger- und Dotiergasen; Bestimmung von C1-C3-Kohlenwasserstoffen in Stickstoff mit Gaschromatographie.