Testing of materials for semiconductor technology; determination of impurities in carrier gases and doping gases; determination of methane impurity in H2, O2, N2, Ar and He by using a flame ionization detector (FID).
NORMA vydaná dňa 1.3.1991
Označenie normy: DIN 50450-3:1991-03
Poznámka: NEPLATNÁ
Dátum vydania normy: 1.3.1991
Počet strán: 2
Približná hmotnosť: 6 g (0.01 libier)
Krajina: Nemecká technická norma
Kategória: Technické normy DIN
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie; Bestimmung von Verunreinigungen in Träger- und Dotiergasen; Bestimmung von Methanverunreinigungen in Wasserstoff, Sauerstoff, Stickstoff, Argon und Helium mit einem Flammenionisationsdetektor (FID).