Production equipment for micro-systems - Terms and definitions - Part 1: General terms of micro-system technology.
NORMA vydaná dňa 1.5.2004
Označenie normy: DIN 32564-1:2004-05
Dátum vydania normy: 1.5.2004
Počet strán: 6
Približná hmotnosť: 18 g (0.04 libier)
Krajina: Nemecká technická norma
Kategória: Technické normy DIN
Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Begriffe - Teil 1: Allgemeine Begriffe der Mikrosystemtechnik.