Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 28: Provozní zkouška pro vibracemi buzené elektretové součástky MEMS získávající energii. (Norma přebírající anglický originál, vlastní text je součástí výtisku).
NORMA vydaná dňa 1.10.2017
Označenie normy: ČSN IEC 62047-28
Rozlišovací znak: 358775
Katalógové číslo: 503432
Dátum vydania normy: 1.10.2017
Počet strán: 24
Približná hmotnosť: 72 g (0.16 libier)
Krajina: Česká technická norma
Kategória: Technické normy ČSN
Tato norma specifikuje termíny a definice a provozní zkoušku pro vibracemi buzené elektretové součástky MEMS získávající energii za účelem stanovení charakteristických parametrů pro spotřebitelské, průmyslové a jiné aplikace. Norma se týká vibracemi buzených elektretových součástek získávající energii, jejichž elektrody jsou vzdáleny méně než 1 000 µm a jsou pokryty dielektrickým materiálem se zachycenými náboji a jsou vyrobeny pomocí procesů MEMS jako je leptání, fotolitografie nebo depozice