Geometrické specifikace produktu (GPS) - Textura povrchu: Plocha - Část 603: Jmenovité charakteristiky bezdotykových přístrojů (interferometrická mikroskopie s fázovým posuvem) (Norma k přímému použití jako ČSN).
NORMA vydaná dňa 1.8.2025
Označenie normy: ČSN EN ISO 25178-603
Rozlišovací znak: 014451
Katalógové číslo: 521667
Dátum vydania normy: 1.8.2025
Počet strán: 32
Približná hmotnosť: 96 g (0.21 libier)
Krajina: Česká technická norma
Kategória: Technické normy ČSN
This document specifies the design and metrological characteristics of phase shifting interferometry (PSI) instruments for the areal measurement of surface topography. Because surface profiles can be extracted from areal surface topography data, the methods described in this document are also applicable to profiling measurements