Elipsometrie - Principy (Norma k přímému použití jako ČSN).
NORMA vydaná dňa 1.4.2023
Označenie normy: ČSN EN ISO 23131
Rozlišovací znak: 039050
Katalógové číslo: 516600
Dátum vydania normy: 1.4.2023
Počet strán: 28
Približná hmotnosť: 84 g (0.19 libier)
Krajina: Česká technická norma
Kategória: Technické normy ČSN
This document specifies a method for determining optical and dielectric constants in the UV-VIS-NIR spectral range as well as layer thicknesses in the field of at-line production control, quality assurance and material development through accredited test laboratories.
It is applicable to stand-alone measuring systems. The presentation of the uncertainty of results conforms to ISO/IEC Guide 98-3