Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 9: Měření pevnosti spojení dvou destiček pro MEMS. (Norma přebírající anglický originál, vlastní text je součástí výtisku).
NORMA vydaná dňa 1.3.2012
Designation standards: ČSN EN 62047-9
Classification mark: 358775
Catalog number: 90139
Publication date standards: 1.3.2012
The number of pages: 36
Approximate weight : 108 g (0.24 lbs)
Country: Czech technical standard
Kategória: Technické normy ČSN
Tato norma popisuje metodu měření pevnosti vzájemného spojení dvou destiček, typicky se jedná o tavné spojení křemík-křemík, anodické spojení křemík-sklo, atd. a je použitelná i při výrobě a montáži MEMS zařízení. Dá se použít pro tloušťky destiček od 10 µm do několika milimetrů