Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 14: Metoda měření mezní tvářitelnosti materiálů kovové vrstvy. (Norma přebírající anglický originál, vlastní text je součástí výtisku).
NORMA vydaná dňa 1.10.2012
Označenie normy: ČSN EN 62047-14
Rozlišovací znak: 358775
Katalógové číslo: 91588
Dátum vydania normy: 1.10.2012
Počet strán: 28
Približná hmotnosť: 84 g (0.19 libier)
Krajina: Česká technická norma
Kategória: Technické normy ČSN
Tato norma popisuje definice a postupy pro měření mezní tvářitelnosti kovových materiálů tvořících vrstvu pro tloušťky v rozmezí od 0,5 _m do 300 _m. Kovové vrstvy, které jsou v normě zmiňovány se používají v elektrických částech, MEMS a mikrosoučástkách. Norma uvádí metody předpovídání vad v materiálu při vtiskávacím procesu