Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 10: Zkouška tlakem mikrosloupku pro materiály MEMS. (Norma přebírající anglický originál, vlastní text je součástí výtisku).
NORMA vydaná dňa 1.7.2012
Označenie normy: ČSN EN 62047-10:2012/Oprava1
Rozlišovací znak: 358775
Katalógové číslo: 90863
Poznámka: Oprava
Dátum vydania normy: 1.7.2012
Počet strán: 4
Približná hmotnosť: 12 g (0.03 libier)
Krajina: Česká technická norma
Kategória: Technické normy ČSN