Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 1: Termíny a definice.
NORMA vydaná dňa 1.9.2016
Označenie normy: ČSN EN 62047-1-ed.2
Rozlišovací znak: 358775
Katalógové číslo: 500696
Dátum vydania normy: 1.9.2016
Počet strán: 32
Približná hmotnosť: 96 g (0.21 libier)
Krajina: Česká technická norma
Kategória: Technické normy ČSN
Tato část IEC 62047 definuje termíny pro mikroelektromechanické součástky včetně procesu výroby těchto součástek