Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 9: Měření pevnosti spojení dvou destiček pro MEMS. (Norma přebírající anglický originál, vlastní text je součástí výtisku).
NORMA vydaná dňa 1.3.2012
Označenie normy: ČSN EN 62047-9
Rozlišovací znak: 358775
Katalógové číslo: 90139
Dátum vydania normy: 1.3.2012
Počet strán: 36
Približná hmotnosť: 108 g (0.24 libier)
Krajina: Česká technická norma
Kategória: Technické normy ČSN
Tato norma popisuje metodu měření pevnosti vzájemného spojení dvou destiček, typicky se jedná o tavné spojení křemík-křemík, anodické spojení křemík-sklo, atd. a je použitelná i při výrobě a montáži MEMS zařízení. Dá se použít pro tloušťky destiček od 10 µm do několika milimetrů