Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 3: Tenkovrstvové normalizované zkušební kusy pro zkoušky v tahu. (Norma přebírající anglický originál, vlastní text je součástí výtisku).
NORMA vydaná dňa 1.5.2007
Označenie normy: ČSN EN 62047-3
Rozlišovací znak: 358775
Katalógové číslo: 78595
Dátum vydania normy: 1.5.2007
Počet strán: 24
Približná hmotnosť: 72 g (0.16 libier)
Krajina: Česká technická norma
Kategória: Technické normy ČSN
Tato mezinárodní norma specifikuje normalizovaný zkušební kus, který se používá pro zajišťování vhodnosti a přesnosti systému zkoušení v tahu pro tenkovrstvové materiály o délce a šířce pod 1 mm a tloušťce pod 10 µm, které jsou hlavním materiálem struktury mikroelektromechanických systémů (MEMS) mikrostrojů a podobných součástek.
Tato mezinárodní norma vychází z koncepce, aby systém zkoušek v tahu mohl zaručovat vhodnost a přesnost při měření pevnosti v tahu normalizovaných zkušebních kusů, jejichž pevnost v tahu je stanovena předem, v předpokládaném rozsahu. Norma rovněž stanoví zkušební kusy pro minimalizaci odchylek charakteristik mezi zkoušenými kusy.
Přejímaná EN 62047-3 představuje 3 strany anglického textu a 15 stran anglického a francouzského textu normy IEC