Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 26: Popis a měřicí metody pro mikrostruktury zářezů a jehel. (Norma přebírající anglický originál, vlastní text je součástí výtisku).
NORMA vydaná dňa 1.8.2016
Označenie normy: ČSN EN 62047-26
Rozlišovací znak: 358775
Katalógové číslo: 500478
Dátum vydania normy: 1.8.2016
Počet strán: 40
Približná hmotnosť: 120 g (0.26 libier)
Krajina: Česká technická norma
Kategória: Technické normy ČSN
Tato norma specifikuje popisy struktur zářezů a jehel v mikrometrovém měřítku. Dále poskytuje příklady měření pro geometrii obou struktur. Norma platí pro struktury zářezů s hloubkou od 1 µm do 100 µm, stěnami a zářezy s příslušnými šířkami od 5 µm do 150 µm a poměrem (hloubky zářezu k šířce zářezu) 0,006 7 až 20 a dále pro jehlové struktury se třemi nebo čtyřmi plochami s výškou, vodorovnou a svislou šířkou 2 µm nebo větší a s rozměry, které se vejdou do krychle o straně 100 µm. Norma platí pro navrhování konstrukcí MEMS a pro geometrické hodnocení po procesech zhotovení MEMS