Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 25: MEMS zhotovené technologií na bázi křemíku - Metoda měření pevnosti při namáhání tah-tlak a ve smyku pro mikrooblast připojení. (Norma přebírající anglický originál, vlastní text je součástí výtisku).
NORMA vydaná dňa 1.4.2017
Označenie normy: ČSN EN 62047-25
Rozlišovací znak: 358775
Katalógové číslo: 502144
Dátum vydania normy: 1.4.2017
Počet strán: 36
Približná hmotnosť: 108 g (0.24 libier)
Krajina: Česká technická norma
Kategória: Technické normy ČSN
Tato norma specifikuje zkušební metodu in-situ (na místě) založenou na vzorových technikách k měření přilnavosti mikrooblastí, které jsou vyrobeny mikroobráběcí technologií, která se využívá v mikroelektromechanických systémech (MEMS) na bázi křemíku.
Norma je použitelná k měření pevnosti při namáhání tah-tlak a ve smyku pro mikrooblast připojení, vyrobených mikroelektronickými technologickými procesy a dalšími mikroobráběcími technologiemi.
Mikro ukotvení, upevněné na substrátu pomocí mikrooblasti připojení, poskytuje mechanickou podporu pohyblivé snímací/ovládací funkční komponentě v součástkách MEMS. Se stárnutím součástek se stává závažnější degradace pevnosti připojení vlivem defektů, nečistot a nerovnoměrným tepelným namáháním na připojovací ploše. Norma nepotřebuje složité přístroje (jako je mikroskopie skenovací sondou a zhotovování nano-zářezů) a to ani k přípravě zkušebního vzorku.
Vzhledem k tomu, že zkušební sestava uvedená v této normě může být implantována při zhotovení zařízení jako standardní detekční vzor, může tento dokument poskytnout most, na jehož základě může výrobce návrhářům poskytnout nějaké kvantitativní reference