Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 21: Metoda zkoušení pro Poissonův poměr tenkovrstvých materiálů MEMS. (Norma přebírající anglický originál, vlastní text je součástí výtisku).
NORMA vydaná dňa 1.4.2015
Označenie normy: ČSN EN 62047-21
Rozlišovací znak: 358775
Katalógové číslo: 97102
Dátum vydania normy: 1.4.2015
Počet strán: 24
Približná hmotnosť: 72 g (0.16 libier)
Krajina: Česká technická norma
Kategória: Technické normy ČSN
Tato norma definuje stanovení Poissonova poměru z výsledků měření, které jsou získány pomocí zatěžování tenkovrstvých mikroelektromechanických systémů (MEMS) v jedné, nebo dvou osách. Jedná se o vzorky, které mají délku a šířku menší jak 10 mm a tloušťku menší jak 10 _m