
Atomic layer deposition. Vocabulary.
NORMA vydaná dňa 17.11.2023
Označenie normy: BS ISO 8181:2023
Dátum vydania normy: 17.11.2023
Počet strán: 18
Približná hmotnosť: 54 g (0.12 libier)
Krajina: Britská technická norma
Kategória: Technické normy BS
ISBN: 978 0 539 19026 7 Status: Definitive