BS ISO 21859:2019

Fine ceramics (advanced ceramics, advanced technical ceramics). Test method for plasma resistance of ceramic components in semiconductor manufacturing equipment.

NORMA vydaná dňa 19.6.2019

Anglicky -
PDF - okamžité stiahnutie (160.60 EUR)

Anglicky -

Tlačené (160.60 EUR)

Informácie o norme:

Označenie normy: BS ISO 21859:2019
Dátum vydania normy: 19.6.2019
Počet strán: 12
Približná hmotnosť: 36 g (0.08 libier)
Krajina: Britská technická norma
Kategória: Technické normy BS

Anotácia textu normy BS ISO 21859:2019 :

ISBN: 978 0 580 96201 1 Status: Confirmed