
Atomic layer deposition. Chemical characteristics and related process specifications of atomic layer deposition precursors.
NORMA vydaná dňa 3.6.2026
Označenie normy: BS ISO 19383:2026
Dátum vydania normy: 3.6.2026
Počet strán: 22
Približná hmotnosť: 66 g (0.15 libier)
Krajina: Britská technická norma
Kategória: Technické normy BS
ISBN: 978 0 539 32348 1 Status: Definitive