
Surface chemical analysis. Determination of surface elemental contamination on silicon wafers by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy.
NORMA vydaná dňa 31.7.2014
Označenie normy: BS ISO 14706:2014
Dátum vydania normy: 31.7.2014
Počet strán: 36
Približná hmotnosť: 108 g (0.24 libier)
Krajina: Britská technická norma
Kategória: Technické normy BS
ISBN: 978 0 580 82725 9 Status: Under Review