
Surface chemical analysis. Determination of surface elemental contamination on silicon wafers by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy.
NORMA vydaná dňa 15.5.2001
Označenie normy: BS ISO 14706:2000
Poznámka: NEPLATNÁ
Dátum vydania normy: 15.5.2001
Počet strán: 32
Približná hmotnosť: 96 g (0.21 libier)
Krajina: Britská technická norma
Kategória: Technické normy BS