
Semiconductor devices. Non-destructive recognition criteria of defects in silicon carbide homoepitaxial wafer for power devices. Test method for defects using photoluminescence.
NORMA vydaná dňa 24.7.2020
Označenie normy: BS IEC 63068-3:2020
Dátum vydania normy: 24.7.2020
Počet strán: 28
Približná hmotnosť: 84 g (0.19 libier)
Krajina: Britská technická norma
Kategória: Technické normy BS
ISBN: 978 0 539 02136 3 Status: Definitive