
Semiconductor devices. Non-destructive recognition criteria of defects in silicon carbide homoepitaxial wafer for power devices. Test method for defects using optical inspection.
NORMA vydaná dňa 8.2.2019
Označenie normy: BS IEC 63068-2:2019
Dátum vydania normy: 8.2.2019
Počet strán: 28
Približná hmotnosť: 84 g (0.19 libier)
Krajina: Britská technická norma
Kategória: Technické normy BS
ISBN: 978 0 580 51374 9 Status: Definitive